硅片是怎樣製成集成電路的呢
來源:魅力女性吧 2.28W
以TTL系列集成電路為例,從硅片到集成電路的工藝流程:從單晶硅上切割下來的硅片——磨光——拋光——氧化——光刻——埋層擴散——外延——氧化——光刻——隔離擴散——氧化——光刻——基區擴散——氧化——光刻——發射區擴散——真空鍍鋁——光刻——燒結(形成歐姆接觸)——初測 至此前道工序就算完成了。
以TTL系列集成電路為例,從硅片到集成電路的工藝流程:從單晶硅上切割下來的硅片——磨光——拋光——氧化——光刻——埋層擴散——外延——氧化——光刻——隔離擴散——氧化——光刻——基區擴散——氧化——光刻——發射區擴散——真空鍍鋁——光刻——燒結(形成歐姆接觸)——初測 至此前道工序就算完成了。