氟化氮的狀態

氟化氮又稱三氟化氮，化學式為NF3，一種無機化合物，常温常壓下為無色氣體，熔點-207 ℃，沸點-129 ℃。無色、無臭、不溶於水和鹼，化學上較惰性，但赤熱時與金屬、非金屬作用，與油和脂肪發生反應，與氫氣激烈作用。是一種強氧化劑，是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體，還可用作高能燃料。