氫化車間是做什麼的

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氫化車間是做什麼的

氫化車間是將產生的四氯化硅加氫氣還原成三氯氫硅。多晶硅生產主要的車間是提純、還原、幹法分別指的是原料三氯氫硅提純,進入還原爐,反應過後的氣體進行回收,進入幹法,分離出未反應的三氯氫硅,繼續回到還原,氫氣也是回到還原車間,產生的四氯化硅,可以進入氫化車間。氫化車間就是將產生的四氯化硅加氫氣還原成三氯氫硅,然後進入還原車間。

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