晶圓切割如何解決面崩

解決辦法:在初期chipping應當詳細檢查刀片的安裝精度問題，技術人員還應當做好休整刀片同心度以及重新進行預切割。循環chipping，要詳細檢查刀刃表面是否有廢料的衝擊痕跡，在肉眼無法觀察的情況下，需要使用顯微鏡詳細觀察刀刃表面是否存在有顆粒物以及義務粘連至於其他chipping，對此就需要增加貼膜後烘烤温度和時間，要根據工件的材質以此調整其適合的加工參數。