噴砂濺鍍這樣的工藝有毒嗎

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噴砂濺鍍這樣的工藝有毒嗎

噴砂濺鍍這樣的工藝沒有毒

濺鍍,通常指的是磁控濺鍍,屬於高速低温濺鍍法。該工藝要求真空度在1×10Torr左右,即1.3×10-3Pa的真空狀態充入惰性氣體氬氣(Ar),並在塑膠基材(陽極)和金屬靶材(陰極)之間加上高壓直流電,由於輝光放電(glow discharge)產生的電子激發惰性氣體,產生等離子體,等離子體將金屬靶材的原子轟出,沉積在塑膠基材上。

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