什麼叫中頻磁控濺射

中頻磁控濺射的原理是基於陰極輝光放電理論，把陰極表面磁場擴展到接近工件表面，提高了濺射原子離化率。既保留磁控濺射的細膩又增強了表面光澤度。

在優化陰極及磁場結構鍍膜時可在30A電流下工作，鍍膜膜層和基底界面產生原子擴散，又具有離子束輔助沉積的特點。