感應耦合等離子體原理

電感耦合等離子體原理：在炬管的切向方向引入高速氬氣，氬氣在炬管的外層形成高速旋流，通過類似真空檢漏儀的裝置產生的高頻電火花使氬氣電離出少量電子，形成一個沿炬管切線方向的電流.因為炬管放置在高頻線圈內，通過高頻發生器產生的高頻振盪通過炬管線圈耦合到已被電離出少量電子的氬氣上，使氬氣中的這部分電子加速運動，撞擊其他電子產生電離，形成雪崩效應，最終靠高頻發生器連續提供能量，即可形成一個穩定的等離子體火焰。