單晶硅片電阻率測試方法

來源:魅力女性吧 1.59W
單晶硅片電阻率測試方法

1試樣待測面用320#(28~42μm)或W28(20~28μm)金剛砂研磨或噴砂。

2.測試電流 選擇:根據樣品電阻率範圍選擇測量電流檔位:

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