什麼是mems技術

MEMS就是將傳統傳感器的機械部件微型化後，通過三維堆疊技術，例如三維硅穿孔TSV 等技術把器件固定在硅晶元(wafer)上。

最後根據不同的應用場合採用特殊定製的封裝形式，最終切割組裝而成的硅基傳感器。