光刻間為什麼是黃光

光刻膠在自然光下會見光反應，所以要在特定的波長下進行作業，而最適宜的作業波長是黃光色波長。因為光刻膠對黃光不敏感，所以可以用黃光使生產環境更加接近自然光。而進入EVU時代甚至可能對可見光都不敏感，屆時可能現場燈光又換了。