kla檢測全稱是什麼

晶片平面光罩檢測。

KLA-Tencor 公司推出其稱為“晶片平面光罩檢測” (Wafer Plane Inspection， WPI) 的最新光罩檢測技術。該技術系業界首次在單一系統上提供既可查找光罩上的所有缺陷，又能顯示只印刷在晶片上的缺陷的多功能性，堪稱獨一無二的光罩檢測突破性技術。