為什麼掃描電鏡的分辨率高

取決於掃描電子束斑直徑 。

一般認為在理想的情況下，掃描電鏡的分辨率不可能小於掃描電子束斑直徑，故束斑直徑越小，電鏡的分辨本領越高。束斑直徑主要取決於電子光學系統(電子槍等)設備。入無線電子束束斑直徑： 為掃描電鏡分辨本領的極限。一般，熱陰極電子槍的最小束斑直徑可縮小到6nm，場發無線電子槍可使束斑直徑小於3nm。

因為波長越短，頻率越高，而頻率越高越可以細化像素。也就是頻率越高像素的點就會越小越密，就像積木越小擺的圖形越逼真。所以波長越短，電鏡的分辨率越高。