硅烷熱分解產生什麼

硅烷熱分解產生單質硅和氫氣。

硅烷即SiH4的熱分解過程為:

將SiH4氣體導入SiH4分解爐，在800~900℃的發熱硅芯上，SiH4分解並沉積出高純多晶硅，其反應式如下：SiH4=Si+ 2H2 ↑

SiH4熱分解法有如下優點：

① 分解過程不加還原劑，因而不存在還原劑的玷污。

② SiH4純度高。

③ SiH4分解温度紙，一般800~900℃。

因SiH4氣是易燃易爆的氣體，所以整個吸附系統以及分解室都要有高度嚴密性，必須隔絕空氣。

硅烷分解為吸熱反應提高温度有利於分解，但從氣象往過像載體上成績時，在體温度存在一個最高值超過此温度後繼續升高再體温度。成績速度反而會下降。其最高温度t等於1250℃。

硅烷在加熱的條件發生的分解反應，產生單質硅(Si)和氫氣(H2)，該化學方程式為:

SiH4 ====Si + 2H2， ΔH= - 8. 2 kcal/ mol