温度均勻度計算講解

在任一時刻，工作空間的其他點的温度與工作空間幾何中心點温度的*大差值。 就是一組數據的平均值。

1、 測量點數量及位置

温度波動度測量點為設備指示點，温度均勻度測量點數量及位置與温度偏差相同。

2、 檢定步驟

温度波動度和温度均勻度的檢定步驟與温度偏差同時進行。

3、 數據處理與計算

在進行温度偏差計算的同時，計算温度波動度和温度均勻度。

(1) 温度波動度計算公式：

△ Tf=±(Tfmax-Tfmin)/2

式中：△Tf------温度波動度，℃

Tfmax------設備指示點在30min內的實測*高温度值，℃

Tfmin------設備指示點在30min內的實測*低温度值，℃

(2) 温度均勻度計算公式：

(3) 15

△Tu=【∑(Tjmax-Tjmin)】/15

J=1

式中：△Tu------温度均勻度，℃

Tjmax------各測量點在第j次測量中的實測*高温度值，℃

Tjmin------各測量點在第j次測量中的實測*低温度值，℃。

波動度

温度 ±0.5℃

濕度 ±2.0%R.H

均勻度

温度 ±1.5℃

濕度 ±3%R.H