pecvd工序高温危險源有哪些

• 危險特性：易燃，與空氣混合能形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒、爆炸，與氟、氯等接觸會發生劇烈的化學反應，若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和爆炸的危險。危險類別：易燃易爆

預防措施：不要在VMB附近逗留或倚 靠，更不允許私自打開櫃子

應急處理：發生SiH4泄漏時，及時疏散車間員工，設備人員及時將按下設備電氣急停按鈕，如發生NH3泄露及時疏散產線員工