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低温泵(cryopump)利用低温表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低温泵是獲得清潔真空的極限壓力zui低、抽氣速率zui大的真空泵，廣泛應用於半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、...
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