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天花板級別。0.01nm光刻機比目前最先進的芯片還要小400倍,這種精度已經不是光刻機能夠實現的了。目前全球最小製程的芯片是4nm,是使用荷蘭阿斯麥爾13.5nm極紫外光光源euv光刻機生產的。...
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