怎樣檢驗導軌的直線度

導軌直線度測量的幾種方法，應用電子經緯儀(T3000)、測距儀(DI2002)、電子水準儀(NA3003)等一些高精度電子儀器的方法.並對數據進行了分析.

測量導軌直線度誤差的新方法

利用偏振干涉原理調製出一束偏振角隨光束橫向座標線性變化的特殊線偏振光光束

通過一個隨直線度誤差移動的光縫測量出光束中不同位置的偏振角

根據直線度誤差與偏振角之間的線性關係

實現對直線度誤差的測量。從理論上對該方法進行了論證分析

進而詳細介紹了光學調製器的組成

設計了偏振角測量的光電組件

並進行了相應的實驗。實驗結果分析表明

該實驗裝置的直線度誤差與偏振角之間的直線擬合相關指數R2優於0.9995

且測量直線度誤差範圍不低於0.5

mm，構建的測量系統經標定後測量分辨力可以達到亞微米級

測量不確定度達到1

μm。該方法不僅實現方便、可靠性較高

而且可以克服測量時由於光強變化、導軌形面誤差對測量結果的影響

稍加改進即可實現二維直線度誤差測量

測量精度與自準直儀相當

具有一定的理論研究意義和較強的實際應用前景。