kt200擴散泵參數

擴散系主要有四個性能參數，即極限真空、抽氣速率、出口壓強和返油率。

(1)極限真空：一般擴散泵的極限真空為0.00IPa。主要與泵液在泵壁温度下的飽和蒸氣壓，擴散泵返油，氣體從前置真空向高真空反擴散在入口處產生分壓強，系壁漏氣和放氣在入口處產生的分壓強，泵口的抽速等五個方面有關係。

(2）抽氣速率：與泵尺寸、泵油種類有關。

(3）出口壓強：泵的最大出口壓強為40Pa。