擴散泵抽真空很慢是什麼原因

1、擴散泵不給力了 用電離規單接到擴散泵泵口，看擴散泵單抽能達到多少，要看抽的時間和極限

2、系統有微漏 慢慢檢漏吧，看看保真空時間達不達標

3、箱體太髒 太髒放氣量就大了

4、前級不行 機械泵或機械泵加羅茨泵的真空不行，可以用電阻規單獨檢測前級管道。