橢偏儀測量膜厚的原理

橢偏儀測量膜厚原理是一種用於檢測薄膜厚度，光學常數和材料微觀結構的光學測量儀器。由於其高測量精度，它適用於超薄膜，不接觸樣品，不會損壞樣品而不需要真空，使橢偏儀成為一種極具吸引力的測量儀器。

不同的硬件配置用於光譜橢偏儀的測量，但每種配置必須產生已知偏振的光束。測量被測樣品反射的光的偏振態。這要求儀器量化極化狀態的變化量ρ。

一些儀器測量ρ作為偏振器（稱為起偏器），其通過旋轉確定初始偏振態。第二固定位置偏振器（稱為檢偏器）用於測量輸出光束的偏振。其他儀器是固定起偏器和檢偏器，，並且偏振光的狀態在中間部分被調製，例如使用聲光晶體等，以最終獲得輸出光束的偏振狀態。這些不同配置的最終結果被測量為波長和入射角的複函數ρ。