rga殘餘氣體分析儀原理

殘餘氣體分析儀是在真空腔內利用RGA離子分化器將氣體分子電離，電離後的帶電粒子進入四極杆產生的偏轉電場內，由於不同的粒子質量數不一樣，在一定的電場作用下所形成的偏轉半徑就不一樣。

RGA 是殘留氣體分析 Residual Gas Analysis 的縮寫，其算是質譜分析 mass spectrometry的一個分支，質譜分析是一種將化學物質轉化為氣項離子，利用運動離子在電場和磁場中偏轉原理，分離不同質荷比（mass-to-charge ratio質量-電荷比）離子的檢測分析方