ingaas失效分析原理

ingaas是用來偵測故障點定位，尋找亮點、熱點的工具。

ingaas原理是偵測電子-電洞結合與熱載子所激發出的光子。

ingaas可偵測的波長較長，範圍約在900nm到1600nm之間，等同於紅外線的波長區 (EMMI則是在350nm-1100nm)。

ingaas相較EMMI，更適用在檢測先進製程組件的缺陷。

原因在於尺寸小的組件，相對操作電壓也隨之降低，使得熱載子所激發出的光波長變得較長，而ingaas就非常適合用於偵測先進製程產品的亮點、熱點定位。

將器件分為 優化前和優化後兩個大組，每組設置四個擴散深度，研究 InGaAs 光電探測器 Z_n 擴散的一般規律。 2.介紹加速老化實驗的相關原理。