顯微鏡測量的公式

顯微鏡物鏡分辨距離的計算公式：根據光學繞射理論，繞射光斑直徑d＝Kλ／NA，若光斑為愛裏圓斑，則強度沿徑向降低為最大值的1／2時，對應的K＝0.52，即d＝0.52λNA，焦深ΔZ＝λ／2NA2。可見，當NA值增大時，光斑直徑d減小，有利於提高測量頭的橫向及垂直分辨率，但在物鏡直徑一定的情況下，此時鏡頭更為靠近被測工件表面，不利於測量頭的調整，且系統波象差會隨NA值的增大而加大，故需對NA值進行優化選擇。