為什麼euv燈管的波長是172nm

因為環境中的O2分子會在172nm紫外線的照射下解離成為遊離的氧原子或者O3分子。無論是遊離的氧原子還是O3分子都具有比較強的氧化性，可以與有機小分子反應生成水和二氧化碳。

EUV 燈管發出172nm的紫外線，照射到玻璃基板表面。玻璃基板表面的有機大分子會在紫外線的作用下解離成為無機小分子。