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因為環境中的O2分子會在172nm紫外線的照射下解離成為遊離的氧原子或者O3分子。無論是遊離的氧原子還是O3分子都具有比較強的氧化性，可以與有機小分子反應生成水和二氧化碳。EUV燈管發出172nm的紫外線，照射到玻璃基板表...
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