氦質譜檢漏儀裏有啥

氦質譜檢漏儀裏有1. 檢漏儀專用分子泵2. 機械泵或者幹泵3. 定製檢漏儀專用電磁閥4. 內置標準漏口5. 放大器6. 採用質譜專用模塊。

氦質譜檢漏儀是用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。