氦質譜檢漏儀的工作原理是什麼

氦質譜檢漏儀的工作原理是在電子的轟擊下會產生帶電粒子，帶電粒子在電場的作用下獲得能量做加速動力，而在磁場的作用下將做圓周運動，而具有不同質荷比的離子其運動半徑不同。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質比分離，這門研究使不同質量的粒子在電磁場中運動並依質荷比進行分離的學科稱為質譜學。根據質譜學原理製成的儀器叫質譜儀。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種，將質譜儀用於檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。