上微28nm光刻機2022能交付嗎

28納米光刻機有可能2022年交付。

上微28nm光刻機有可能在2022年內交付。去年年底的時候上海微電子的28nm光刻機通過技術檢測和驗證，不過之後就一直沒傳出什麼消息。如果順利的話應該可以今年角度於企業並安裝調試。不過有消息説華卓精科與清華共同研製的雙工件台沒有達到預期。