光刻機屬於材料學嗎

有屬於材料學的部分。

光刻機是非常複雜的大型設備，涉及光電學、機械學、物理、化工、材料學等眾多學科。其中光刻材料是指光刻工藝中用到的增粘材料、抗反射塗層、光刻膠、化學溶劑和顯影液，還包括193nm浸沒式光刻中用到的抗水塗層等。當然光刻機是不屬於材料學，而是包含材料學。