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流量ml/min--每分鐘毫升數,是流量單位。每分鐘5毫升。min是minute的縮寫,其中文解釋為分鐘,ml是表示液體的單位,用來表示毫升,5ml/min其整體意思就是每分鐘5毫升。100ml/min=100sccm。1ml/min=1sccmsccm是體積流量單位SCCM...
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