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SOI是SiliconOnInsulator的縮寫,即絕緣體上硅,是在薄二氧化硅絕緣層上生長出一層硅單晶薄膜,其結構從上往下依次是表面硅單晶薄膜-二氧化硅絕緣層-硅襯底。得益於絕緣層對單晶硅薄膜層的介電隔離作用,相比體硅器件,SOI具有...
不是。SOI一開始是由美商IBM公司的芯片部門投入開發,最早用於Macintosh電腦(MAC)的PowerPCG4處理器,除了IBM外,還有Motorola、德州儀器(TI)、NEC等公司投入SOI技術的開發工作,但是Intel公司拒絕在其處理器產品中使用SOI技術,因...
SOI硅片擁有極高性能,被廣泛應用於高端芯片中,單晶硅錠經過切割、研磨和拋光處理後得到拋光片。拋光片經過外延生長形成外延片,拋光片經過氧化、鍵合或離子注入等工藝處理後形成SOI硅片。拋光片可直接用於製作半導體器件...
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