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SORTER是一個工廠材料傳輸設備,是一個與SEMI標準兼容的界面系統,可以手動或者配合AGV或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統提供單線接口供工廠控制,充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務。佔地面積小,採用無X軸的...
sorter機是一個工廠材料傳輸設備,是一個與SEMI標準兼容的界面系統,可以手動或者配合AGV或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統提供單線接口供工廠控制,充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務。...
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