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SOI是SiliconOnInsulator的缩写,即绝缘体上硅,是在薄二氧化硅绝缘层上生长出一层硅单晶薄膜,其结构从上往下依次是表面硅单晶薄膜-二氧化硅绝缘层-硅衬底。得益于绝缘层对单晶硅薄膜层的介电隔离作用,相比体硅器件,SOI具有...
不是。SOI一开始是由美商IBM公司的芯片部门投入开发,最早用于Macintosh电脑(MAC)的PowerPCG4处理器,除了IBM外,还有Motorola、德州仪器(TI)、NEC等公司投入SOI技术的开发工作,但是Intel公司拒绝在其处理器产品中使用SOI技术,因...
SOI硅片拥有极高性能,被广泛应用于高端芯片中,单晶硅锭经过切割、研磨和抛光处理后得到抛光片。抛光片经过外延生长形成外延片,抛光片经过氧化、键合或离子注入等工艺处理后形成SOI硅片。抛光片可直接用于制作半导体器件...
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