第三代半導體外延片是什麼

是指在單晶襯底上生長一層新單晶形成的產品，外延片決定器件約70%的性能，是半導體芯片的重要原材料。 第三代半導體外延片作為半導體原材料，位於半導體產業鏈上游，是半導體制造產業的支撐性行業。第三代半導體外延片製造商在襯底材料上通過CVD設備、MBE設備等進行晶體外延生長、製成第三代半導體外延片。

外延片是半導體材料的一種，是在村底上做好外延層的硅片。外延生長（通常亦簡稱外延） 是半導體材料和器件製造的重要工藝之一。外延片決定器件約70%的性能，是半導體芯片的重要原材料。

外延生長就是在一定條件下，在經過仔細製備的單品襯底上，沿着原來的結晶方向生長出一層導電類型電阻率、 厚度和晶格結構、完整性等都符合要求的新單晶層的工藝過程，所生長的單晶層稱為外延層。目前市場保有量較大的外延片為GaAs、GaN和SiC外延片。