半導體rtp是什麼工藝

是快速熱處理

RTP，即快速熱處理，是一種升温速度非常快保温時間很短的熱處理方式。RTP 快速熱處理（rapid thermal processing)，是一種升温速度非常快的，保温時間很短的熱處理方式。升温速率能達到10~100攝氏度每秒。