光隙法測量平面度

光隙法是傳統的也是科學的、可行的檢測方法。這方面的相關資料、書籍很多，不難查找。至於實際檢測經驗，還需在搞清楚測量原理的基礎上有所積累。

測量原理簡單講就是使用刀口形直尺的工作刃口模擬理想直線，利用貼合在平面平晶上的各個量塊的尺寸差組成標準光隙，利用標準光隙與被測工件的實測光隙進行比較（比較測量法），以獲得被測件的形狀誤差。