光阻的化學成分

光阻主要由樹脂(resin)，感光劑(sensitizer)，溶劑(solvent)三種成分混合而成。光阻種類: 光阻分為正光阻及負光阻兩種。

1、 正光阻: 光阻本身難溶於顯影液，曝光後解離成小分子，形成容易溶於顯影液的結構。

2、 負光阻: 曝光後形成不容易溶於顯影液的結構。