氮化硅與氮氧化硅哪個緻密性好

氮化硅更好。

氮化硅膜與氧化硅膜相比較具有表面化學性能穩定等優點，故氮化硅膜可用於半導體工業。

氮化硅是一種無機物，化學式為Si3N4。它是一種重要的結構陶瓷材料，硬度大，本身具有潤滑性，並且耐磨損，為原子晶體高温時抗氧化。而且它還能抵抗冷熱衝擊，在空氣中加熱到1000℃以上，急劇冷卻再急劇加熱，也不會碎裂。