多晶硅生產工藝圖及工藝流程

多晶硅生產工藝流程是石英砂在電弧爐中冶煉提純到98%並生成工業硅，其化學反應SiO2+C→Si+CO2↑為了滿足高純度的需要，必須進一步提純。

把工業硅粉碎並用無水氯化氫(HCl)與之反應在一個流化牀反應器中，生成擬溶解的三氯氫硅(SiHCl3)。淨化後的三氯氫硅採用高温還原工藝，以高純的SiHCl3在H2氣氛中還原沉積而生成多晶硅。